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异军突起的MEMS运动传感器
 

【作者: 郁正德】2007年08月20日 星期一

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前言

微机电(MEMS)曾经是高深而新鲜的技术新名词,然而,当商业化的瓶颈逐步被克服后,近来MEMS已被广泛应用在一些电子设备当中,而且能为产品带来崭新的功能。任天堂的Wii游戏机是一个最好的例子,透过MEMS运动传感器(3轴加速度计)对动作的感测能力,将游戏的玩法带入全新的领域,也炒热市场对MEMS的兴趣。


何谓MEMS?它是一项结合电子与机械的微小化工程技术,也就是应用半导体制程技术来制作各种微小的精密机械组件,而且能进一步与今日的光电系统整合,以提供精微的感测或控制能力。早在Wii出现前,MEMS组件就已在多个市场中大行其道,其中最著名的是例子是在打印机的喷墨头中,已普遍使用微流体组件;另一个成功的例子则是微面镜数字光处理(Digital Light Processing;DLP)组件,目前被广泛用于投影显示器当中。
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