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半导体用水一探
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【作者: 陳瑩欣】2002年06月05日 星期三

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五月中,张忠谋面对台机电股东的质询,以不耐又幽默的口吻要信仰宗教的人以宗教力量让老天下雨,好让可能因此停摆的晶圆制造业可以顺利进行。老天真的能用水解决大量工业用水问题吗?


一般而言,每片八吋晶圆所消耗的纯水制程中约介于2.0M/片~2.5M片之间,即纯水的消耗量约在2.000 M/天至2.500M/天之间,这还不包括将水质纯化的含量,其中水处理系统用水量落差高达30﹪(约在45﹪~75﹪间)显示工业用水节约之经济效益,若再加上废气洗涤用水,酸简中和用水实在不可小覤。


一座月产三万片晶圆之八吋晶圆厂,制程后其用水量可达700M/天,用水之巨更值得深思,政府在五月间亦颁行法令奖励半导体制造业者以回收的形式善用水资源。不过这条政令的「回收85﹪」对制造晶圆过程中那个部份可做大量回收,原始估量水的标准,以及是否了解业者对水资源需求和成本的考量等都出现了极大的争议,无法全盘摸熟产业生态的政策,常常让业者啼笑皆非,招致无法推行命运,这次的水政,恐怕也将只有「精神上」服从的结果。
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