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QMEMS打造高性能Photo AT组件
 

【作者: 林志遠】2011年10月13日 星期四

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传统制程面临加工瓶颈

石英晶体所具备的压电效应,让它可以透过晶体变形和振动来控制发生频率的快慢,并可产生循环的晶体振荡,对外提供电子系统所需的参考频率。做为频率参考的基准,石英晶体被要求提供高度的稳定性,而这个稳定性主要由切割角度、厚度及晶体Q值等参数决定。


在传统制程上是靠切割、研磨等方式的来制作石英晶体,这种机械加工的方式,即使再精密也有其限制,因此出厂前的石英芯片往往还得运用雷射来切削最关键的电极形状,透过精微调校来控制控制质量。除了一致性不易达到外,面对薄型化和小型化的需求,机械加工制程也显得力有未逮。
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