前言

微机电（MEMS）曾经是高深而新鲜的技术新名词，然而，当商业化的瓶颈逐步被克服后，近来MEMS已被广泛应用在一些电子设备当中，而且能为产品带来崭新的功能。任天堂的Wii游戏机是一个最好的例子，透过MEMS运动传感器（3轴加速度计）对动作的感测能力，将游戏的玩法带入全新的领域，也炒热市场对MEMS的兴趣。

何谓MEMS？它是一项结合电子与机械的微小化工程技术，也就是应用半导体制程技术来制作各种微小的精密机械组件，而且能进一步与今日的光电系统整合，以提供精微的感测或控制能力。早在Wii出现前，MEMS组件就已在多个市场中大行其道，其中最著名的是例子是在打印机的喷墨头中，已普遍使用微流体组件；另一个成功的例子则是微面镜数字光处理（Digital Light Processing；DLP）组件，目前被广泛用于投影显示器当中。
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