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解析微机电系统技术之应用与发展现况
电子产业迈向奈米世界之开路前锋-

【作者: 楊燕枝】2003年04月05日 星期六

浏览人次:【15298】

微机电与奈米技术均为现今科技发展主要潮流之一,由于均具有超威小结构之特性,一般人经常将此混为一谈。事实上,若由制造尺度而言,两者间差距仅在于科技产品的关键尺寸,微机电尺度在100μm至1μm之间,约为0.1mm至0.001mm,与人类头发平均直径接近,其约在70μm左右;而奈米技术关键尺度则在100nm至1nm之间,约为0.1μm至0.001μm间,已是蛋白质大小的等级,因此在制作技术上可说是差异甚大。



奈米技术研究领域为「介观(meso)尺度世界」,所发展的科技产品之关键尺寸或形状精度通常位于100nm~1nm范围。奈米(nanometer;nm)是一计量单位,定义为「十亿分之一公尺」,一个奈米长度约为十个氢原子并排在一起的宽度。奈米科技早于1997年即被美国时代(Time)杂志评选为21世纪十大科技之一;利用奈米技术不仅可突破现有半导体制程技术的瓶颈,开发出更细微的机器组件,且由于奈米尺度下物质特性的变化,可创造出许多神奇的新结构/新材料。美国国家科学基金会NSF曾预估,至2015年全球奈米市值应可达1兆美元,显示奈米技术之应用将为本世纪最重要之产业发展趋势。
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