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中国大陆半导体设备市场探微
大陆半导体产业发展现况(2)

【作者: 哈建宇】2003年03月05日 星期三

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大陆半导体设备市场


近几年半导体中国大陆市场快速发展,加上中国大陆政府计画性发展半导体产业,使得大陆半导体产业快速发展,市场需求不断增加,目前大陆官方统计中国大陆半导体市场约占全球需求量的6% ,仅次于美、日与台湾。



根据CCID对中国大陆30主要积体电路企业的调查统计资料,2001年中国大陆在积体电路的总产量为44.1亿颗,总销售额98.4亿人民币。未来的两至三年内,上海、北京、深圳等地正在兴建多座晶圆厂,预估中国大陆积体电路2005年总销售额将达400亿人民币的规模,由于中国半导体业发展快速,群聚效应不但吸引全球与台湾业者抢进、中国本土的半导体产业也快速成长。



《图一 2001~2005年中国大陆积体电路销售情况》

资料来源:CCID;工研院经资中心ITIS计画(2002/09)


看好大陆未来内需市场将持续成长,加上大陆官方「十五」计划积极发展半导体产业,全球半导体厂商也积极在大陆进行布局,目前外商之独资厂或合资半导体厂,量产或动工的8吋晶圆厂约为十座,包括摩托罗拉天津厂、华虹NEC厂、中芯一厂及二厂、宏力、上海先进、贝岭、苏州和舰及台积电松江厂,几乎全数为晶圆代工厂,台湾IC厂投资的无锡8吋晶圆厂也已动土,可望成为大陆第十座8吋晶圆厂。



由于厂商积极投资,预计于2002至2005年间在北京、上海两地将新增加15~20条6~8吋晶圆生产线,因此也将创造庞大的设备需求。预估在此期间厂商总投资金额将高达200亿美元,其中七至八成的投资金额将运用在半导体设备的采购,金额约达140亿至160亿美元。根据CCID资料指出,预估2002年至2005年大陆每年半导体设备市场平均需求为40亿美元,随着大陆晶圆厂设厂或扩厂投资持续增加,2003年大陆设备市场规模约为70亿美元,2010年将有机会达到100亿美元;如(图一)。



另一方面若以计画期间进行分析,根据大陆CCID 2002年市场资料,大陆「七五」计画期间半导体设备市场为6.7亿人民币;「八五」计画期间进入市场成长期为95.4亿人民币;在十五计画期间,由于中国大陆加速发展半导体产业,主要外商半导体厂也看中大陆市场的未来成长力而大量投资设厂,使得中国大陆在「十五」计画期间之设备需求高度成长,根据CCID预估,「十五」期间中国大陆的半导体设备市场将会达到1020亿人民币。



大陆半导体设备产业之发展历程与现况


中国大陆半导体设备产业开始于1950年代末期,以中国原电子部系统下的2个研究所,14个直属工厂及地方国营企业?主要研究发展机构。当时其范围曾涉及半导体积体电路设备、电子元件及机电元件设备、电子真空设备、洗净设备、专用模具等领域;参考(表一)。



在1960至1970时期中国大陆处于欧、美国家封锁禁运之下,中国设备研发单位先后完成1.2μm和0.7μm线宽电子束曝光机,光学图形产生器、600kev离子注入机等设备之研发,在当时中国大陆主要以自行研发方式发展其半导体积体电路产业。 1980年代后期中国大陆实行改革开放政策,中国大陆陆续引进半导体相关设备,另外国外二手设备也不断进口至大陆市场。



1991年中国大陆开始5吋2mm生产线关键设备的研发,这些设备与进口设备共同配合使用,并研发部份微细加工设备,于1996年前已逐步完成。目前大陆先进的曝光微影设备与蚀刻设备皆以进口设备为主,CVD设备则属中国大陆自主发展较快的设备,北京建中与48所研制的设备LPCVD、Cluster-CVD已能满足6吋0.5μm晶片制造的需求,由于其价格具竞争力,因此大陆国有企业已采用其设备外,一些大陆中大型半导体厂亦开始采用。中国大陆本土设备的销售方面,根据大陆CCID的统计资料,1999年的半导体设备业者的销售为8,783万人民币,2000年达到1.7亿人民币,2001年大陆本土设备销售成长率达60%,销售金额为2.8亿人民币。




表一 主要设备研发机构




































































设备类别 生产厂家
曝光机 45所、48所、上海机械厂、国营708厂
离子植入机 国营708厂、北京仪器厂、48所
扩散炉 北京建中
CVD(PECVD、LPCVD) 48所、北京建中
溅镀设备 国营708厂、北京仪器厂
蚀刻机 北京仪器厂、北京建中
镀膜机 真空镀膜 电子束镀膜 国营708厂
切割机 切片机 45所、西安机械厂、汇盛电子机械设备公司
抛光机 研磨机 4502厂
探针测试台 45所、北京建中
点胶机 西安机械厂
流量控制器 北京建中
烧结炉 48所
塑封机 汇盛电子机械设备公司
单晶炉 西安理工大学


资料来源:CCID;工研院经资中心ITIS计画(2002/07)




《图二 近年中国大陆半导体设备业者销售市场状况》

资料来源:CCID;工研院经资中心ITIS计画(2002/07)


不过由于近两年国际半导体制造大厂快速进入大陆市场,并进口半导体制造设备,对照之下大陆半导体制造设备竞争力较为不足,故大陆官方已陆续拟定计画并提拨人民币9亿元,欲借此提升大陆业者发展半导体制程设备之能力。



2002年中国大陆科技部宣布将进行总投资达200亿人民币的12个重大科技专项,其中「超大规模集成电路和软件重大专项」中包含发展大陆半导体设备计画,而全大陆10余家设备企业参与的曝光设备研发项目也已展开,其中上海电气集团负责主导0.1微米技术曝光设备发展计画,此外刻蚀设备、离子注入设备也是目前中国大陆进行重点扶植的项目,并订定发展半导体设备产业之目标、措施与奖助鼓励办法如下:




  • (1)以科研单位?目标,集中力量选择少量关键设备予与支援。根据主要设备大厂先进制程提升技术平台。于「十五计画」期间力争8英吋0.5-0.35微米水平设备开发,并期望进入量产阶段。



  • (2)以现有IC生产线的改造为目标,将已开发成功的0.8-1微米,6英寸设备进行改进与量产。



  • (3)以发展积体电路之外的其他半导体设备?目标,开发需求量较大技术含量适中的设备,提高市场占有率。



  • (4)给予一定的优惠与产业扶持政策,例如适当的减免税收与鼓励外商投资等。





台湾设备厂商之大陆布局与商机


大陆半导体产业发展为全球所关注,在国内半导体厂商逐渐西进布局下,设备厂商随着客户前往设立据点,以就近提供服务,并期望待大陆高科技产业经济规模成型后,随着大陆本土半导体业者或台商的投资,期望掌握商机进入市场并与市场共同成长。但如果目前台湾厂商没有进入大陆卡位,这个位置将很快的被国际竞争厂商所取代,因此目前台湾设备厂商在大陆的投资可谓购买实质选择权,以确保厂商将来可以继续在大陆投资获取更大之效益。



随着国内厂商加强国外市场布局,出口比率有逐渐上升的趋势,其中大陆并于去年取代东南亚成为第一大设备出口地区。由于今年国内半导体厂商加强大陆布局,多家设备业者也准备跟进至大陆苏州、上海等地建立服务据点,预料出口大陆金额将会持续成长。目前已至大陆设厂厂商包括如均豪、基丞等业者,前段设备厂商倍强科技由于大陆业务成长比重增加,已开始计画在上海地区设立服务据点,湿制程厂商弘塑科技并传出与日商安内华在上海投资,设立安内华弘塑半导体设备有限公司。沛鑫半导体总部办公室设于竹南地区,但其制造工厂并包括大陆昆山、龙华、苏州等地与鸿海资源共享。此外,如安德越、华东半导体、嵩展、钛升...等厂商2001年设备出口大陆金额成长幅度也都在一成以上。




表二 国内半导体设备业者之大陆布局



























































制 程 公司名称 大陆市场发展策略
前 段 嵩展 广东浦东办事处
沛鑫 工厂于深圳及大上海地区
公准 已在中国大陆设立工厂
弘塑 传与安内华于上海成立安内华弘塑半导体设备有限公司
倍强 由于大陆业务成长考虑设点中
崇越 于上海设立据点
后 段 均豪 苏州均强
优力特 考虑在深圳服务据点
基丞 广东服务中心,上海生产制造
钛升科技 上海设立服务中心
万润 江苏昆山设立销售服务据点
安德越 成立上海安德越


资料来源:工研院经资中心ITIS计画(2002/08)





《图三 国内1998~2002年半导体前后段设备业者出口大陆金额》

资料来源:中华民国海关进出口资料库;工研院经资中心ITIS计画(2002/10)


由于大陆市场成长快速,就工研院经资中心(IEK)对于目前投资大陆的台资半导体厂商进行访谈的结果显示,目前大陆的半导体通路体系已正逐渐布建中,供应体系本土厂商约占2成以下。但由于目前大陆厂商的品质体系尚未建立,对于设备、零组件的品质管制尚未达到应有水准,大陆台资半导体厂对于设备、零组件、耗材选用排序依次为:原​​厂产品、台湾产品、大陆产品,近期对于台湾设备、零组件厂商市场开拓,大陆之台资半导体厂的确会带来新的商机。



面临二手设备强力竞争


不过就大陆目前的设备需求分析,由于当地许多发展中的半导体厂大多生产低阶产品,半导体设备商在目前的大陆市场面临二手设备交货期短、价格便宜的强力竞争,尤其近来景气不佳,厂商大量释出2000年购置却闲置之产能设备,就设备性能上来说,这些二手设备仍为目前半导体生产的主流机种之一,也符合厂商的需求,其低价更是吸引资金有限的大陆业者。因此二手设备的竞争,的确也成为国内设备业者发展上的阻力之一。



此外就行销发展上来分析,国内厂商由于规模较小,业者在市场开拓上也遭遇不小的挑战。大陆市场成长快速,国内设备业者发展积极,然而大陆幅员广大,客户遍布大江南北,国内设备厂商普遍属中小型规模,使设备业在大陆设厂运作与行销成本成为厂商发展的负担,与国际设备大厂规模比较相差悬殊,成为国内业者发展之不利因素。



结语


目前国内也有许多半导体厂至大陆设立服务据点,不过碍于目前两岸情势,设备厂商无法由台湾据点直接为对岸客户进行有效快速的服务,因此业者若要布局大陆市场,一定要设立完整的服务与技术支援体系,必须付出较高的管理与交通费用,也增加零组件与模具运回台湾进行组装的成本,对于目前许多中小体系的厂商发展来说是另一个较为不利之因素。



许多设备厂商有鉴于此,朝向与当地半导体通路厂商进行合作,然而却也发现当地通路厂商良莠不齐。收款是大陆一直以来的问题,是对大陆半导体厂或通路业者来说,或多或少都存在的现象,而过去甚至发生委托大陆通路商销售,在国内设备业者交机后,通路商即不见踪影,而使国内业者蒙受很大的损失。因此,厂商如何在大陆布建技术服务体系,或慎选当地半导体通路商共同合作,成为国内设备业者经营大陆市场的重要课题。



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