在MEMS感測器的供應商中，ST（意法半導體）無疑扮演了重要的角色。談到ST的MEMS產品線，一般人都會把家庭遊戲與智慧型手機市場聯想在一起，但事實上，翻開ST旗下MEMS的產品線，你會很難想像，在六十七億顆的出貨量中，竟有32億顆是噴墨印表機的噴射頭，另外35億才是感測器的全部總和。

不過，從成長動力來看，MEMS市場正快速起飛，ST正持續強化其研發及量產能力，從前端的晶片設計到後端的封裝測試，都不斷精進，而這背後的推手，莫過於其執行副總裁暨類比、MEMS和感測器事業群總經理Benedetto Vigna。

Benedetto Vigna已經連續三年獲得SEMICON TAIWAN的邀請，來台分享MEMS產業的技術與應用進展，而在今年，本刊總編輯歐敏銓（以下簡稱歐）也特地針對MEMS產業的發展與最為火紅的話題：穿戴式應用，雙方有相當深入且精采的探討。以下為專訪整理後的完整內容。

歐：就目前為止，產業界對於穿戴式應用的定義，仍然有相當多種類的說法，對您來說，您會如何定義穿戴式應用？未來的市場發展如何？

Benedetto：對我而言，所謂的穿戴式應用，應該是裝置本身可以長時間且持續地與人體皮膚接觸，而且體積要非常地小，像是手錶或是眼鏡都是符合這類定義的產品，但若是智慧型手機，就無法長時間與皮膚接觸，你也無法將智慧型手機穿在身上。

根據IMS的預估，2016年的穿戴式應用市場將可以超過60億美元，而該市場將可被分成三大種類，分別為：資訊娛樂、健身與健康，以及醫療保健等。短期來看，前兩者會有較大的成長動能，醫療領域由於需要較為專業技術的支援 ，因此成長不會這麼快速。

就技術層面而言，早期的計步器僅有計算功能而已，因此僅需要加速度計就可以滿足設計需求，不過未來的智慧型手錶，將會進化到可以偵測使用者正在作什麼及所在位置，因此除了整合加速度計外，也會整合壓力感測器、Wi-Fi、陀螺儀、溫溼度感測器與麥克風等元件。

圖一

以Google的智慧眼鏡為例，它具備擴增實境、導航與廣告等多項功能，就元件本身來看，它至少必須具備動作感測器、微型投影機、射頻連接元件、MEMS麥克風、揚聲器與聲學基板等，若有壓力感測器、溫/溼度感測器，則可延伸更多應用功能。

歐：再擴大來談，近年來，許多產品都被冠上「Smart」，就系統層面來看，您如何定義？台灣在這波智慧化浪潮中又可以扮演什麼角色？

Benedetto：在我來看，智慧型系統的定義其實很簡單，它僅僅需要感測器、微電腦與通訊介面，就可以形成一個智慧型系統。基於這個系統上，再加上完整的網路環境，一般我們所常談到的物聯網也就應運而生了。

我們日前也完成了目前史上最小的體積，僅有10mm3的智慧型系統。而從智慧型系統、物聯網再到整個生態系統，其實涵蓋的範圍相當廣，像是App、終端應用系統的開發、雲端儲存或是軟體服務等，都是整個生態系統的一環，在整個生態系統中，台灣業者都可以扮演不同的角色來投入。

歐：穿戴式應用的興起，以IDM廠商的角度來看，從設計、封裝測試再到系統設計，MEMS的開發上會有哪些挑戰需要克服？

Benedetto：我想，其中之一的挑戰就是先前所談到的極輕、極薄與極小。在作法上，我們會設法從封裝技術上下手，盡可能讓元件達到極小化。以氣壓計而言，ST已有2.5mmX2.5mm封裝的產品線；若是不同技術的封裝整合，以溫/溼度計為例，也有2mmX2mm的規格。因應不同的實際需求，就必須提供不同的產品線，尺寸方面就會微幅增加。

我認為，每種技術都可以加以整合，這在實務上是沒有問題的，但問題在於實際應用上，是否符合封裝成本與系統效益，這就是必須思考的地方，像是壓力感測器本身，在封裝上，就必須要封裝上開孔，才能讓元件進行運作，但要把壓力感測器與其他元件加以整合，一旦無法開孔，這樣的整合就毫無意義可言。

而像是電磁干擾、溫度或是材料方面的問題，都可以在設計之初就加以預防。功耗是另一個主要挑戰，這與各類無線技術的應用息息相關，我們會選擇藍牙，因為它的功耗表現最為出色。

歐：您認MEMS元件在消費性電子市場是否已逐漸進入成熟期階段？ST接下來在消費性電子市場的布局為何？

Benedetto：我認為，MEMS元件在消費性電子還沒有到達完全成熟的階段，這個市場還會有成長的空間，像是動作感測與光學防手震等應用，在消費性電子領域還有可以發揮的地方。至於明年，我們認為環境感測與聲音感測的部份，將會在該領域有不錯的表現，這部份恰巧是ST較為弱勢的地方。到了2015年後，微投影技術將會接力演出。我們對於消費性電子市場，會採取先行佈局的作法，在技術上先行導入，以成為市場的領導者。

歐：感測元件的應用很廣，除了消費性電子領域，你們也正積極拓展其他市場，請談談目前的發展狀況。

Benedetto：可以來談談我們在車用與醫療市場的一些進展。感測元件在車用電子系統中扮演著重要的角色，像是資通訊娛樂或是車用安全，都有感測器可以著墨的地方。ST日前也已經推全球第一款三軸的陀螺儀，正是針對車用市場的產品。

而在醫療方面，ST也與國外的單位合作，利用壓電驅動器為使用者進行給藥的動作，不過這目前僅止於測試階段，試驗對象也是僅止白人，現在正在等待通過美國FDA（藥物食品管理局）的認證。而這類MEMS的要求，與一般的消費性電子不同，它所需要的，是更高的效能與精準度。

歐：最後，想請您談談ST未來在MEMS領域的整體策略或是布局。

Benedetto：我想，就目前來看，ST的總產能已經達到每天500萬顆的規模，由於需求還在不斷地提升當中，有人會擔心我們的產能不足，需要外包。事實上，不論是在晶圓或是在封測端，ST都沒有委外代工的打算。對ST而言，MEMS是相當重要的產品線，因此加碼投資絕對是必要的策略，絕對會滿足市場對產能的需求，其中在封裝測試端會投入較多資源。

產品的佈局上，如前所述，聲音與環境感測等元件，將是ST的發展重心之一，另外，像是靜電致動器、壓電與溫度致動器，也都是ST相當看好的產品線。

圖二

關於Benedetto Vigna

重要資歷：Benedetto Vigna目前在微機電領域所擁有的專利已經超過150個，同時也是義大利研究中心總裁的工業顧問，並且參與了許多歐盟贊助的研究計畫。並於2013年10月榮獲歐洲半導體獎（European SEMI Award 2013）。

經歷：

1995年加入意法半導體從事MEMS研發

2001年擔任MEMS事業總監，成功打入任天堂Wii、智慧型手機與各類平板產品的供應鏈

2011年擔任執行副總裁暨類比、MEMS和感測器事業群總經理迄今