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QMEMS感測器 在市場發光發熱
追求更高品質與性能表現

【作者: 歐敏銓】   2011年03月15日 星期二

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無疑地,MEMS元件正處於高速起飛的時間點。這些微型化元件為電子產品賦與了感測或致動的靈敏功能,為新興應用開闢了一條康莊大道。今日市場上充斥著各種MEMS解決方案,並以CMOS矽晶元件為大宗,然而,若要強調高靈敏度和高穩定性,石英型感測器則是不二的選擇。


「就是這麼一顆小小的元件,帶給許多產品無窮的想像空間。」Epson Toyocom營業統括商品企畫戰略部部長宮澤健把弄著手中比指甲更小的QMEMS石英感測元件,感觸地指出:「我們投入十多年的研發心力,總算看到它在市場上發光發熱。」


宮澤健分析指出,評估一顆感測器的好壞,可以用五個S來看,即Speed(回應物理量變化的速度)、Sensitivity(對變化回應程度的敏感度)、Selectivity(只針對特定變化回應的選擇能力)、Straight Response(回應物理變化量的準確性)、Stability(保持不受外部環境影響的穩定性),而這些特性都與元件選擇的材料息息相關。
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