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SARS與晶圓廠 誰比較毒?
 

【作者: 謝馥芸】   2003年06月05日 星期四

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講到SARS,人人聞風色變。但講到晶圓廠,大多人卻沒什麼反應,直覺以為晶圓廠很安全。我可以告訴你,晶圓廠真的很安全,至少就防SARS來說,就勝過外面的醫院及其它防疫單位。


且說為什麼就防SARS來說,晶圓廠比外面安全。首先,只要晶圓廠在員工走進公司大樓前,做好量體溫、戴口罩的措施,基本上已達到一般防疫的條件。請注意!現在我們還沒走進真正的晶圓廠喔!這只是辦公大樓的防疫措施而已。


然而真正走進晶圓廠時,可不是開個門就可以進去的。首先先走進更衣間,穿上防護衣、帽、鞋,然後再戴口罩、防護眼鏡及手套,如此基本配備完成。不過,還沒完喔!現在得進入除塵室吹一陣子風,確定你是「一塵不染」,不會帶塵埃去破壞晶圓後,才能放行進無塵室。


如果以為這樣就大功告成,那又錯了。進入無塵室,真正存在於晶圓廠的空間後,所有員工(包括技術員、工程師、技工、工安等),全部不淮在無麈室裡「跑」,以免讓灰塵飛起。無塵室的空調設計,主要是由上往下流動,所以空氣是往下跑,以促使室內塵埃的活動率達到最低。


晶圓廠的所有員工在進出無塵室的同時,通常得不斷的更換口罩及手套,因為口罩接觸過口部;手套則因工作久了,手容易出汗,手套變得黏膩難用。無塵衣、頭套及鞋子則時常清洗,務必時其保持高潔淨度。而這些工作,都是SARS還未出現前,就已行之多年的政策。所以囉!SARS再毒,在晶圓廠層層把關及嚴格管控下,SARS很難在擁有上千人的晶圓廠裡進行口沬傳染。


話說回來,多年來晶圓廠一直執行嚴格的安全管控,務使所有危險降至最低點,原因何在?比起SARS病毒,晶圓廠裡面存在的危險因子更要可怕幾倍。晶圓廠的員工最常受到的威脅,就是毒氣及酸液的侵害,然而這樣的危險,有時必須在日積月累下慢性地在人體內發展,才有可能構成可怕的危害,不像SARS那麼立即性的發病,結果人們反而怕SARS不怕晶圓廠,真是令人十分費解啊!


記得去年半導體設備展,筆者走訪幾家設備廠的攤子,其中一間設備大廠為我詳細解說最新、最高科技之12吋晶圓廠用設備的特色及優點,當時我忍不住好奇詢問,這樣的設備已達到完全自動化,那員工在更換機台的酸液時,就不用直接接觸酸液了?業者的回應卻是:「不可能做到完全不用碰酸啦!再怎麼自動化,還是得依靠人力,才能為機台換酸的。」


想起一位在國內某家知名DRAM廠當設備工程師的朋友,在有次閒聊中,他展示了身上的傷痕,以及說明他如何在晶圓廠遇到的危難中死裡逃生。相較於SARS的威脅,這些在晶圓廠工作的人的真正恐懼,早在一開始進入公司時就已形成,因為在這樣的環境下工作多年後,不知身體會不會有又出現什麼可怕的症狀。員工之間口耳相傳,傳聞某間大型醫院來新竹設院所後,接到的單一癌症病患的機率提高許多;或者謠傳在晶圓廠工作久了後,生女兒的機率比生兒子還高。


那麼晶圓廠的人需要防SARS嗎?當然需要啊!只是他們平常已進行多樣化的防護措施,現在可能得再換成:防菌口罩改用活性碳口罩,無塵衣具得每天清洗。


(謝馥芸)


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