表面聲聲波濾波器（SAW Filter，Surface Acoustic Wave Filter）對於手機的天線（收發）轉換開關而言，可說是個重要支柱。2005年，美國安捷倫（Agilent）科技推出了BAW（Bulk Acoustic Wave）濾波器，不僅足足節省了3/4的電路板空間，更為MEMS微機電（micro-electro-mechanical systems）硬體開闢一條前往行動世界之路。BAW元件因不具有可移動的內部零件，與其他的MEMS元件是有所區隔的，但業界專家仍將它歸在MEMS類別，因為就製程而言，BAW採用了和MEMS類似的概念。

iPhone 5S內建M7動作協同處理器 BigPic:602x350

MEMS微機電應用在智慧手機領域，進而獲得重大突破之時機點，是在蘋果透過模仿人類在真實世界工作的形式，進一步將MEMS硬體導入動作元素到使用者介面之後的幾年才真正發揚光大。蘋果在iPhone裝設了加速度計，賦予觸控螢幕擁有自動切換橫、直向顯示的功能，造就了導入MEMS感測器的智慧手機開啟了新的應用平台並進一步強化連接的魔力。

蘋果在iPhone5使用4顆MEMS感測器以及三星在Galaxy S4智慧手機使用高達8顆MEMS感測器。業界專家預測，未來新型智慧手機想要進一步實現室內/室外導航、定位、虛擬實境遊戲、增強真實功能等應用，將會採用高達30顆的MEMS元件。同時，MEMS硬體也將成為擔任LTE手機天線及數位調諧電容器，在不同頻段與多個蜂窩技術之間頻繁交換的重要亮點。

隨著裝置整合的需求不斷持續升溫，以加速度計與陀螺儀為例，開始出現將兩者整合到單一封裝中，其次，感測器與處理能力亦走向整合的趨勢。從蘋果近期推出的iPhone 5S便可窺知端倪，iPhone 5S內建的M7動作協同處理器（motion co-processor）便是為可攜式電子產品的MEMS創新技術開啟新的一扇門。M7動作協同處理器能夠用於集中控制多種動態感測資訊，包括加速感應器、陀螺儀和羅盤，並能持續監控這些感測器的變化。在行動裝置上運行動作處理演算法，再從應用處理器卸載感測器模組，整個過程僅消耗1%的電力。

智慧手機與平板電腦的相繼問世，進而帶動MEMS硬體呈現倍數成長，透過MEMS加速度計與陀螺儀，能夠提供觸控螢幕具有辨識方向的能力以及協助用於加速位置定位與導航相關應用程式；此外，MEMS麥克風、指南針、壓力感測器等亦能提供行動裝置進一步實現更多功能與應用。根據市調機構Yole Developement報告指出，2012年，基於MEMS的行動零組件市場價值超過20億美金，除此之外，Yole Developement更透漏意法半導體在2012年MEMS銷售總額直逼10億美金。

那麼，MEMS除了讓行動市場蓬勃發展，還有其他更多的延伸應用嗎？舉凡像是智慧手錶的穿戴式以及物聯網相關的消費裝置，看起來確實像是MEMS生態系的下一波大市場。除此之外，醫療保健以及健康相關亦是MEMS元件另一個發展方向，透過MEMS能夠開發出新一代醫療裝置藉以應用在診斷、治療、監測、醫療器材、保健計畫管理等領域。

(本文作者Majeed Ahmad，具有電子工程師背景，擔任技術與貿易領域之記者一職資歷超過17年，並著有一本以行動裝置設備世代演進與經濟週期為主題的個人著作。)