Wii遊戲機的魅力在全球市場中所向披靡,男女老少為之著迷瘋狂,進而身陷其中無法自拔,因為消費者與玩家們能夠藉由操控無線搖桿控制器,把實際動作融入於遊戲螢幕當中,產生互動式的刺激玩樂效果。這份身歷其境的驚奇,是系統根據控制器的三軸加速計(accelerometers)去感知動作、深度和位置而實現,也就是運用了微機電系統(MEMS)的感測功能。集電子、機械與光學技術大成的MEMS,已經被高度期待成為下一世代開創電子產業利基高峰的救世主。

感受真實,真實感受,微機電讓人機合一的協調境界得以成真,被高度期待成為下一波產業新利基。(圖片來源:www.memx.com/www.wii.com;編輯:HDC)
感受真實,真實感受,微機電讓人機合一的協調境界得以成真,被高度期待成為下一波產業新利基。(圖片來源:www.memx.com/www.wii.com;編輯:HDC)

MEMS整合機械、電子與光學三大技術,是利用感測器接收自然界聲、光、電、磁、味、溫、壓力、速度等訊號,再經過類比數位轉換器、控制器、制動器(actuator)等流程,把類比訊號轉換成數位資料,加以邏輯運算後表現出各類反饋動作與視訊圖像的系統架構。過去MEMS主要作為傳統機械加工在小尺寸與快速反應的補充方案,隨著半導體微細化製程的技術精進,MEMS能讓感測器尺寸縮小,因此更容易被整合在各式各樣的系統當中。

現在MEMS已經被廣泛應用在我們日常生活周遭,範圍可分為汽車與工業感測、PC周邊與消費家電、以及光學通訊這三大類。MEMS在汽車工業的應用包含車輛安全氣囊的加速計、胎壓感測的陀螺儀(Gyroscopes)、醫療設備儀器的LoC晶片等;在PC與消費家電領域有印表機噴墨頭、微型麥克風、慣性滑鼠、DVD與CD player讀寫頭、數位相機影像穩定陀螺儀、家庭娛樂與投影系統等;在光學通訊部分則包括投影用顯微鏡、RF感測網路、數位光源處理DLP(Digital Light Processing)等等。

不僅如此,作為感測功能的MEMS,也能在無線感測網路(Wireless Sensor Network;WSN)中擔負重要媒介,置於微型結構附近,對目標進行檢測、測量和監視,將感測到的數據經由處理,發送至公共控制網路的控制器中心、數位智慧家庭的中央處理器、或是汽車工業用的電子控制單元。另外在軍用雷達、智慧型武器以及衛星通信設備的應用上,RF MEMS也開始嶄露頭角;未來MEMS在生物晶片、顯示技術、新興能源等新興研究領域,也將出現商業化的應用產品。

不過業界比較樂觀看待這股MEMS熱潮,能夠深入在車用、手機與其他消費電子領域中引領風騷,特別是在可攜式裝置嵌入感測器部分,帶動下一世代的獲利高峰,產生橫掃千軍的殺手級應用。在車用電子領域除了既有安全氣囊外,MEMS更可應用在車輛動力系統控制以及電子穩定系統的迴轉儀及加速計,另外MEMS能夠提升胎壓監控系統(TPMS)的壓力感測敏銳度,藉由探測微小的墜落、傾斜、移動、定位和振動所導致的力量變化,滿足車商設計安全駕駛的系統要求。

在可攜式消費電子領域,MEMS能夠應用的想像空間就無限寬廣許多。現在MEMS的微細化技術已經不是問題,只要以MEMS技術為核心的陀螺儀產品單價,能夠降到車用領域的1/10,MEMS便能在手機的微型麥克風、具運動量測功能的隨身通訊裝置、可攜式3D遊戲機的遙控器、行動電視的光學元件、替代石英震盪器(Oscillator)的微機電震盪器、甚至微型燃料電池等領域中大放異彩。

MEMS的技術革新,連帶地也重新定義了感測的內涵。感測不僅是侷限於被動地接受自然訊號而已,感測要能配合行動需求,精確地收集、整理、判斷與反應訊息,在無遠弗屆的遠端藉由控制系統或網路傳遞資料,讓人與終端系統之間幾無隔閡,這樣,感測才是完整而豐富的。

整體來看,MEMS亦代表著一國不同屬性(heterogeneous)產業之間整合能力優劣與否的技術平台,也是表現不同屬性的產業研發水準、能否實現「人機合一」協調境界的舞台。鄰國日本已經定位MEMS技術為創新產業競爭力的重要階段,並成立相關聯盟積極整合產官學資源。台灣微機電技術研發相對而言,較不為政府所重視,仍集中在少數學校研究單位、工研院電子所或是寥寥可數的民間企業裡單打獨鬥。主事者應該及早整合隊伍,利用台灣消費電子代工產業鏈的優勢,集中火力革新MEMS,才能有效開創台灣電子與機械產業的新利基。