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联电、DNP将为0.10微米光罩制定适当规格
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2000年12月19日 星期二

浏览人次:【2905】

联电今宣布与大日本印刷株式会社(DNP)签订一项为期数年的协议,联电将获得DNP保障提供先进的光罩服务。此外,双方将共同为0.10微米光罩制定适当之规格。

联电表示,根据该协议,DNP将集中提供0.15/0.13微米制程世代的高阶光罩予联电,并强调采用先进且高质量的光学微距校正 (Optical Proximity Correction, OPC)相位移光罩(Phased Shift Mask, PSM)。至于0.10微米技术的合作开发,将由2家公司工程师组成技术研究团队并制定此项高阶制程的光罩规格,让联电客户将来广泛采用。

關鍵字: 光罩  联电  DNP 
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