台积电今年7月移入12吋晶圆厂制程设备，制程设备已全部安装完成，预计12月将可产出国内第一片12吋晶圆，成为国内第一条12吋晶圆的生产线。

台积电指出，由于台积南科六厂的12吋晶圆为试产线，几乎集结全球的制程设备厂商全部参与。不过在台积六厂12吋晶圆的试产线中，大约有七成的制程设备来自台湾应材，其余的制程设备，如科林等都参与台积的12吋试产线的开发。