英特格(Entegris Inc.)今天宣佈，已將其RSP150專利技術授權給台灣中勤實業，用以製造和銷售光罩盒。

英特格RSP150光罩盒

英特格擁有全球最先進的光罩盒技術，並持續大力投資於研發，以確保客戶能夠妥善因應工業4.0帶來的製造挑戰。藉由將RSP150光罩盒專利技術授權給中勤實業，半導體產業將有更多的供應商也能夠提供先進解決方案，以改善光罩缺陷率。

英特格晶圓與光罩盒處理部門副總裁 Paul Magoon表示：「中勤實業將在英特格的既有積累之上，透過拓展技術解決方案，以協助客戶克服其特定的製造挑戰。」中勤實業董事長陳延方表示：「藉由取得這項關鍵技術授權，可使中勤實業為客戶提供立即可用的產品，並確保能滿足需求。」