工研院能资所、力晶半导体、交大电子所、国家奈米元件实验室等产学界单位，近日与美国半导体环境友善生产制程研发中心（ERC），共同签订「12吋晶圆DRAM奈米制程环境友善关键技术国际研发计画」合作备忘录，为国内建构了「多边性国际合作及国内产学研合作机制」的策略联盟。

此项策略联盟，由工研院能资所主导计画及协调各执行单位，并在符合奈米制程的规格需求下，研究更环保、更省资源、更低污染排放的新式制程及材料，以求达到更好的制程效率。该计画主持人金光祖表示，短程由基础性的研究建立Know-why的Knowledge Base，使Know-how运作更为顺畅；中程以制程流程优化及降低生产成本的可行方案；长程希望能掌握奈米制程的关键技术之发展趋势及知识。目前研究的内容先针对高介电闸极制程（High-k Dielectrics）、晶圆表面清洗制备（Surface Preparation）、化学机械研磨（CMP）等课题，未来将规划扩大到其他的前瞻制程技术研发。