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台德合作引进最先进雷射源 启用全台首座雷射应用服务中心
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2021年11月22日 星期一

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继台积电宣布投资高雄后,南台湾半导体产业发展再添利多!全台首座「台湾半导体与电子产业先进雷射应用服务中心(以下简称应用服务中心)」日前已宣布于工研院台南六甲院区正式启用,并在经济部推动下,引进来自德国创浦公司(Trumpf)的4台亚洲仅有高阶脉冲雷射,成立除德国以外的全世界最高阶应用服务中心,料将加速台湾半导体设备的开发速度,预期可带动超过40亿元产业效益。

台湾半导体与电子产业先进雷射应用服务中心引进来自德国创浦(Trumpf)的4台亚洲仅有高阶脉冲雷射,成立除德国以外的全世界最高阶应用服务中心,将加速台湾半导体设备之开发速度。
台湾半导体与电子产业先进雷射应用服务中心引进来自德国创浦(Trumpf)的4台亚洲仅有高阶脉冲雷射,成立除德国以外的全世界最高阶应用服务中心,将加速台湾半导体设备之开发速度。

根据国际半导体产业协会(SEMI)统计,2021年台湾半导体设备投资将高达1618亿元,成为全球第二大市场,预估明年至少再成长5%,重返全球第一名。经济部技术处观察,未来半导体制程持续往2~3nm等更先进制程发展,该应用服务中心所导入的雷射源为现今全世界最高阶超快雷射,足以在低温下切割世界第三硬的SiC材料,使得雷射设备应用在半导体领域成为不可或缺的技术要角。

经济部技术处处长邱求慧表示,据统计去年台湾整体雷射设备进口值约新台币220亿元,是出口值的10倍之多,其中半导体雷射设备进口值约占50%以上,可见若积极推动台湾半导体雷射设备国产化发展替代,将为台湾设备厂商带来庞大商机,将过往送件到海外测试、打样到完成设备开发的时间缩短半年以上,并减少每年约1亿元的打样验证成本;同时还能结合在地南部雷射产业需求,打造台南雷射加工应用重镇,协助台湾机械业升级转型往半导体产业发展,打进全球半导体与电子设备产业供应链,预估带动商机将达40亿元以上。

机械公会名誉理事长柯拔希进一步指出,台湾机械设备厂商商长年来在半导体雷射设备市场经营不易,经常在越洋送件打样的过程中,订单就已被日本、美国、德国、韩国等雷射设备商抢走,主因就是台湾没有半导体加工所需的高阶雷射源和打样中心。柯拔希说:「很高兴等到先进雷射应用服务中心启用,我相信科技始终来自于机械,设备商在这一波转型中扮演重要角色,将提升国内产业先进制程加工及技术研发效率,减少重复投资成本,为台湾制造业的升级转型注入一剂强心针。」

工研院院长刘文雄表示,该先进雷射应用服务中心提供国际级快速测试验证服务,并结合了工研院雷射制程与光路技术系统、德国创浦高阶雷射源与大银微公司精密平台,提供台湾雷射设备系统整合及产业人才最先进制程技术教育训练,将加速台湾厂商导入高阶雷射应用、升级转型,并使台湾雷射产业逐步突破目前仰赖进口高阶雷射模组和设备的现况。

台湾创浦公司总经理郑勇志表示,创浦集团此次特别提供4台全亚洲独有的最新型雷射源,包括皮秒紫外光雷射源、皮秒绿光雷射源、飞秒绿光雷射源、飞秒红外光雷射源,搭配台湾自主开发高速精密平台,加上工研院研发的专用光路模组及制程控制技术,适用矽基板、玻璃基板、碳化矽基板、PFO载板等半导体3D IC先进封装与化合物半导体制程,提供台厂高品质、高效率生产设备,是「半导体奈米制程竞赛」中不可或缺的光制造技术,期盼透过台德技术合作,共创新商机。

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