看好近年来台湾半导体、面板产业受到国际地缘政治影响，纷纷布局分散各地生产，或聚焦於开发次世代创新产品，对於供应链设备竞争也越来越激烈。在今（2022）年8月24~27日举行的台北国际自动化工业大展，即可见到东佑达自动化公司在南港展览馆四楼L608摊位，透过甫於2021年成立的子公司「东佑达奈米系统」，发表最新研发重点产品，包括：超高速气浮单轴平台 、精密线马中空平台 、空气轴承XY平台、XYZ空气轴承微钻孔机次系统等。

东佑达奈米系统公司??总经理??贵敦表示，其中「超高速气浮单轴平台」属於客制品，采用非接触式空气轴承气浮驱动，而不会随着时间推移造成振动、磨耗或性能下降

东佑达奈米系统公司??总经理??贵敦表示，其中「超高速气浮单轴平台」属於客制品，因为采用非接触式空气轴承气浮驱动，移动时元件少了机构间的接触，以空气为介质的阻尼隹，而不会随着时间推移造成振动、磨耗或性能下降，导致影响精度，在达到100mm/s高速下，速度涟波仅有0.1%。

同时克服研磨技术上的困难，可以实现高直线度、平面度达0.5μm/300mm；精密几何效能，容易实现超高6个自由度（线性精度、水平/垂直直线度、自由度Yaw、Pitch、Roll）及轴与轴间的正交度±3 arc/sec

由於毋须使用润滑油，可避免润滑产生的污染平台，使超高速气浮单轴平台成为Class 1无尘室与医疗相关产业最隹选择；马达只须很小出力，重覆定位精度就达到±0.2μm/300mm，适用於Micro LED、半导体AOI、PCB检测、自动化精密量测、雷射切割等精密量测制程对位。

另一款新品：「精密线马中空平台」大中空台面，则可放入光源以及CCD镜头，适合用於AOI检测相关需求。多尺寸设计，行程可选配100mm~300mm；直线度和平面度均为奈米级，可依需求选配不同解析度的编码器，领先其他驱动方式的竞争产品。

为了持续扩大服务客户，东佑达现还持续开发高品质高稳定性产品、提供高效率服务外，将更广度的把完整产品阵容呈现给自动化使用者。机电与UI软体复合性的整合，期待客户可以透过统一的多样化的东佑达产品选择，达到控制便利性与采购的效率化。