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无光罩制程成趋势 DLP技术助攻先进封装量产化
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2025年10月09日 星期四

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在半导体制造快速演进的时代,德州仪器(TI)的DLP技术正成为推动数位光刻革命的助力。随着封装技术朝向高密度整合、多晶片模组与3D堆叠发展,传统依赖昂贵光罩的光刻制程已逐渐面临灵活性与成本的瓶颈。TI的DLP991UUV数位微型反射镜元件(DMD)凭藉次微米级解析度与资料处理能力,为无光罩(maskless)光刻带来效率与精度。

DLP技术实现了适用於先进封装的无光罩数位光刻系统。
DLP技术实现了适用於先进封装的无光罩数位光刻系统。

DLP(Digital Light Processing)技术的核心在於可编程的微型反射镜阵列。这些镜片能精确控制光线投射,直接在基板上形成图案,取代传统光罩的角色。透过此数位化的即时调整机制,工程师能在不更换实体光罩的情况下修改设计,大幅缩短产品开发周期,同时降低光罩制作与维护的成本。这对於封装设计快速演进的AI、5G与高效能运算(HPC)应用而言,无疑是一项颠覆性的变革。

在先进封装中,电路图案需精准对位并维持极高的解析度,以确保讯号完整性与电气性能。TI的DLP991UUV以890万像素阵列与最小5.4微米反射镜间距,能在343奈米波长下运作,提供高能量密度(22.5W/cm2)的曝光能力,使系统制造商得以在大型基板上实现高解析度印刷,达到更高的产能与良率。此外,透过即时校正功能,该技术能自动补偿微小误差,确保稳定输出与一致品质。

相较於传统光罩式光刻机,无光罩系统的最大优势在於可扩充与弹性。DLP技术让制造商能以数位化方式即时调整图样,不仅减少停机时间,亦能快速应对不同封装尺寸与设计需求。这种灵活性使其成为小量多样化制造与先进封装试产阶段的理想选择,同时为大规模量产提供高稳定性的基础。

關鍵字: DLP 
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