英特格(Entegris Inc.)今天宣布，已将其RSP150专利技术授权给台湾中勤实业，用以制造和销售光罩盒。

英特格RSP150光罩盒

英特格拥有全球最先进的光罩盒技术，并持续大力投资於研发，以确保客户能够妥善因应工业4.0带来的制造挑战。藉由将RSP150光罩盒专利技术授权给中勤实业，半导体产业将有更多的供应商也能够提供先进解决方案，以改善光罩缺陷率。

英特格晶圆与光罩盒处理部门??总裁 Paul Magoon表示：「中勤实业将在英特格的既有积累之上，透过拓展技术解决方案，以协助客户克服其特定的制造挑战。」中勤实业董事长陈延方表示：「藉由取得这项关键技术授权，可使中勤实业为客户提供立即可用的产品，并确保能满足需求。」