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英特尔展示下世代电晶体微缩技术突破 将应用於未来制程节点
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2023年12月12日 星期二

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英特尔公开多项技术突破,为公司未来的制程蓝图保留了创新发展,凸显摩尔定律的延续和进化。在今年 IEEE 国际电子元件会议(IEDM)上,英特尔研究人员展示了结合晶片背部供电和直接背部接触的3D堆叠 CMOS(互补金属氧化物半导体)电晶体的最新进展,同时分享了最新晶片背部供电(例如背部接触)的研发突破,并在同一片300mm(12寸)晶圆、而非在封装上成功展示整合矽电晶体与氮化??(GaN)电晶体的大规模3D单晶。

英特尔展示下世代电晶体微缩技术突破,将应用於未来制程节点
英特尔展示下世代电晶体微缩技术突破,将应用於未来制程节点

全球对於运算的需求呈现指数型增长,电晶体微缩和晶片背部供电是有助於满足此运算需求的两大关键。英特尔满足了这样的运算需求,其创新将继续推动半导体产业的发展,亦是摩尔定律的基石。英特尔的元件研究团队不断突破工程限制,透过堆叠电晶体,将晶片背部供电推升到新境界,以实现更多的电晶体微缩和性能改善,同时也证明由不同材料制成的电晶体可以整合在同一晶圆上。

最近发布的制程技术蓝图,强调了英特尔在持续微缩方面的创新,包括PowerVia晶片背部供电技术、用於先进封装的玻璃基板和Foveros Direct封装技术,这些技术皆源於英特尔元件研究团队,预计将在2030年前投入生产。

在 IEDM 2023大会上,英特尔的元件研究团队展现对创新的坚持,开拓全新方式,在矽晶片上置入更多电晶体,实现更高性能。研究人员已确立如何透过有效堆叠电晶体、持续达成微缩的关键研发领域,再结合晶片背部供电和背部接触技术,推动电晶体架构技术发展。除了改善晶片背部供电和采用新型二维电子通道材料(2D channel materials),英特尔也将致力延续摩尔定律,在2030年达成单一封装内含1兆个电晶体。

關鍵字: 晶圆制造  先进制程  Intel 
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