科技部于12月22日举行了「矽光子光纤陀螺仪模组」研发成果发表会。该模组是由中山大学光电系邱逸仁教授团队所开发，运用创新的矽光子整合技术，并结合半导体制程，研发出一种「微型化矽光子陀螺仪驱动晶片」，大幅缩减了传统光纤陀螺仪的体积与制造成本，有望为需要超高精度定位的应用，如汽车、无人机、医疗、机器人、航太与国防等，带来全新的系统设计思维。

中山大学光电系研发「矽光子光纤陀螺仪模组」

作为次世代高性能运算与先进感测的核心技术之一，「矽光子（Silicon Photonics）」元件与应用的研发，正在各地如火如荼的进行中。在台湾，则是由科技部领着学研界，整合产官学的能量进行一系列的矽光子应用技术的研发。本次的成果发表亦是其中一项。

研究的主持人邱逸仁教授表示，传统的光纤陀螺仪价格昂贵，一个要价高达十万美金，因此也限缩了应用的空间。再加上元件的体积庞大，也不易进行装置的整合，也限制了应用的领域。

而团队所开发的矽光子陀螺仪模组，整合了多个矽光子技术，大幅缩减了晶片面积。此外，模组元件也以半导体晶圆厂的制程生产，因此无论是体积或者成本，都较传统的光纤陀螺仪大幅的缩减，而且更利于大量生产。

邱逸仁教授指出，团队所开发矽光子光纤陀螺仪模组，准确度可达0.158 deg/hr，已达到战术级规格的陀螺特性，能够用于需要高精准度定位的应用，例如自驾车、无人机、机器人、航太与医疗检测等。而成本只需要三分之一，甚至可以达到四分之一，进而拓展应用的范围。

而此项研究最大的亮点，就是将光纤陀螺仪半导体化，并整合了矽光子技术，让光传与电传在一块电路上实现。

邱逸仁教授表示，研发团队将过去复杂的零件组合工程，以半导体制程方式整合在毫米(mm)级尺寸的晶圆上，目前已完成了约五分之四的元件整合，并将持续朝全半导体制程努力。尤其已完成了第一颗矽光子陀螺晶片（SOI Gyro Chip）封装体，将光源与波导全部晶片化，也整合自研的ASIC驱动晶片，相当接近商业化阶段。

值得注意的是，此矽光子模组的研发与制造，皆是由邱逸仁教授团队所完成，并吸引了台积电、联亚光电、科毅光电、敦泰电子，以及molex等多家的国际大厂的支持与资助。