罗门哈斯电子材料(Rohm and Haas Electronic Materials)CMP Technologies事业部宣布在台湾新竹的亚洲科技中心(ATC)正式开幕。ATC的成立使CMP Technologies事业部更密切地与以亚洲为基地的客户进行合作,并协助客户最有效地使用高阶 CMP制程与耗材,同时提供整个亚太地区的工程与技术支持。
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罗门哈斯亚洲科技中心将肩负起为亚洲客户服务的重责大任。 |
ATC的特点是拥有一座能提供300mm CMP能力的应用实验室以及精密300mm量度的10级与1000级的无尘室设施,并留有空间作为未来的扩充。ATC是为了支持世界领导级半导体制造商而成立的,目前ATC正与主要客户共同研究发展高阶技术和下一代CMP应用,例如高阶32nm与22nm节点超低介电系数铜制程(Low K/Cu)、浅沟槽绝缘制程(STI)、钨(W)制程与层间介电层制程(ILD)。
ATC也成立了亚太地区CMP Technologies的应用工程技术服务团队,并且正在筹备设置另一座分析研磨垫与研磨浆特性的实验室。作为CMP Technologies事业部全球技术网络不可分割的一部分,ATC密切与美国的实验室合作,支持客户在应用发展上的需求。ATC座落于CMP Technologies事业部在新竹的「亚太地区制造与科技中心」。这所技术中心,可确保客户在单一的地点直接取得所有产品与服务。新竹厂区已通过ISO 9001与ISO 14000认证,所有的作业也都符合六标准偏差原则,包含制造、供应炼管理、高阶研究发展、CMP应用工程、技术服务与业务支持等。