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默克和美光合作永续气体解决方案 降低制程中温室气体排放
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2022年08月08日 星期一

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默克宣布与美光科技联手开发用於半导体制程,能降低全球暖化潜势(global warming potential; GWP)的气体解决方案。经过一年的持续合作,美光科技目前正在测试默克研发部门提供的低GWP替代性蚀刻气体,以验证其制程性能,从而取代传统的高GWP材料。目标是:在半导体制程中导入全新且更具永续性的气体解决方案。

默克和美光联手为半导体产业开发出更永续的气体解决方案
默克和美光联手为半导体产业开发出更永续的气体解决方案

默克集团执行董事暨电子科技事业体执行长凯.贝克曼表示:「永续发展仰赖整个产业的同心协力,而不是单一企业的孤军奋战,也无法限缩於单一公司的范畴之内,需要整个半导体产业链的携手合作,一同发展更新颖的解决方案,以实现更大规模的永续目标。与默克一样,美光科技也设定了远大的永续发展目标,默克很荣幸能够为实现这个目标贡献我们的能力。」

美光科技运营中心团队和采购企业??总裁 John Whitman说:「我们的新目标是,在2030年减少42%的全球营运所造成的碳排放(相较於2020年),为此,我们采取了多项措施以实现茈零碳排的运营承诺,包括:投资先进的减排系统,优先使用全球暖化潜势较低的气体,外购节能设备,以可再生能源取代石化能源等。我们也很高兴在默克的帮助之下,以创新合作达到永续目标。」

长久以来,默克与美光科技建立了互相信赖的事业夥伴关系,而本次降低全球暖化潜势气体的合作更为双方的永续合作迈出了第一步。两家公司皆致力於发掘有助实现永续发展目标的新颖材料,以取代现行应用於乾蚀刻与光罩清洗制程的多种高暖化潜势的蚀刻气体。

2022年5月,默克的气候目标通过第三方单位科学基础减量目标倡议SBTi(Science Based Targets Initiative)之审核,确认其有助於将全球平均升温控制在摄氏1.5度内,同时也符合《巴黎气候协定》的要求。默克承诺在2030年前将公司直接排放(范畴1)与用电产生排放 (范畴2)的总温室气体排放量降低50%,而这些温室气体排放大多来自於电子科技产业所需的特殊化学品相关制程,透过制程改善,默克在未来将可大幅降低温室气体之排放量。此外,默克也承诺在价值链排放(范畴3)做到每欧元的碳排放减少52%。以上承诺皆以2020为基准年,相关进展皆记录於默克2021年的永续发展报告中。

關鍵字: 能源管理  永续经营  碳中和  默克  美光科技 
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