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CMP Slurry市場迎成長動能 半導體製程驅動材料新契機
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2025年11月04日 星期二

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隨著半導體製程技術不斷朝向更細、更複雜的節點演進,對高性能晶圓拋光材料的需求正快速攀升。根據最新市場報告顯示,化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)Slurry 市場規模預計至 2035 年將達約 61 億美元,年複合成長率約為 5.7%。儘管增幅看似溫和,但其背後反映出先進製程與異質整合架構對材料與製程穩定度的更高要求,將為上游材料供應鏈帶來關鍵成長動能。

CMP Slurry 是半導體晶圓製造流程中不可或缺的材料,負責在晶片表面進行精密拋光,以確保各層電路的平坦度與導通品質。隨著晶片結構導入 3D 堆疊、矽通孔(TSV)以及高密度互連設計,其拋光步驟與精度需求倍增,使得 Slurry 的組成與粒徑控制技術成為材料創新的核心戰場。這也意味著,材料與設備供應鏈將迎來新一波競爭與機會。

值得注意的是,隨著製程精密度提高,CMP Slurry 的原料純度與穩定性要求也大幅提升,對應而來的是原物料成本上升與製程良率壓力。全球主要材料供應商正積極開發低缺陷、低殘留的新配方,同時在環保與回收再利用方向進行突破,以符合半導體永續製造的趨勢。

對台灣而言,這波成長趨勢具有重要意涵。台灣擁有完整的半導體製造生態系統,從晶圓代工、封測到材料與設備廠商皆具備實力。隨著台積電、聯電等晶圓代工龍頭持續推進先進製程,對高階拋光材料的需求將同步帶動本地材料與設備供應商的升級與投資契機。對上游材料廠而言,這正是一個「提升技術門檻、搶占市場先機」的關鍵時刻。

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