台灣半導體設備暨材料展（SEMICON Taiwan 2004）15日閉幕，會場傳出微影設備大廠ASML與Nikon接獲英特爾新訂單，也將與記憶體大廠美光與晶圓大廠台積電在微影設備上進行合作，此外英飛凌也將與暐貰科技（Aviza）合作，採用該公司原子層沉積（ALD）設備。

暐貰亞洲區副總裁周雷琪表示，12吋晶圓設備已經進入成熟期，暐貰早期與英飛凌合作，發展DRAM設備，其中的ALD設備一次可以容量二個板，產出時間大幅減少40％。周雷琪表示，12吋廠到90奈米製程，甚至是65奈米製程的設備都已經開出到一個階段，設備廠商的下一個挑戰會出現在45奈米製程以下，而第四季開始，晶圓廠商因為設備成熟以及市場驅動，將會出現產能採購的設備訂單。

美光亦表示，將透過與ASML Mask Tools的合作，提升美光在顯影技術的能力，也將採購ASML的曝光機台以維持美光在95奈米以下技術的領導地位，並擴大到顯影的智慧財產權（IP）。