市調機構VLSI Research日前公佈2002年全球半導體微影設備市場銷售報告，與先前Gartner所公佈的數據類似，荷商ASML仍是2002年最大的微影設備供應商，日商Nikon、Canon緊追在後，分居二、三名。

VLSI報告指出，微影設備市場因受半導體產業景氣不佳之影響，在2002年中一度預估整年度設備出貨量將不及400台，幸而ASML在第四季持續出貨暢旺，才稍微拉抬整個設備市場的出貨成績，但2002年半導體設備銷售仍舊延續前一年的跌勢。

ASML之193奈米機台2002年出貨量高達205台，銷售額15.76億美元，總計拿下35.2％的市場，排名第二及第三的Nikon、Canon市佔率各為33.5％和24.9％，至於Ultratech、Exitech則名列四、五。

VLSI表示，5大微影設備商各具競爭優勢，ASML除在193奈米機台出貨取得領先，在微影設備價格方面亦扮演領導的角色；Nikon、Canon向來在LCD stepper市場，有相當穩健的表現；Ultratech在先進封裝應用設備出貨，則優於同業。