美國SiTime正著手開發用於矽振盪器的新架構MEMS振子。據了解,一般MEMS振盪器(矽振盪器)都是利用MEMS技術所製造的矽共振結構(振子)和驅動電路所構成的,而SiTime目前正量產的產品是使用共振頻率為5MHz的振子,透過PLL電路轉換成符合客戶需求的頻率後,輸出時脈。
SiTime計劃開發高精度、低抖動與高單價的產品,因此需要能產生更高共振頻率的振子。利用PLL電路提高頻率時,時間軸方向的抖動誤差值不易增大,由於高共振頻率的振子能夠縮小元件尺寸,因此有助於降低成本。
5MHz共振頻率的振子俯視呈長方形,採用梁柱連接對角的結構。相較之下,50MHz共振頻率的元件,則可能有各種不同的結構,例如三葉草型等,SiTime可依據客戶的要求而分別採用不同結構的振子。
SiTime過去常使用MEMS技術開發振子和振盪器產品,來分食水晶振盪器市場,目前更計畫以類比技術進軍時脈元件市場。預計未來將有機會達到60億美元市場規模。