根據外電報導，大陸晶圓代工業者中芯表示，該公司年底將收到向歐洲業者訂購的193奈米高階掃描機，而使得該公司0.13微米製程技術得到莫大的助益；中芯計畫在2003年初開始90奈米製程技術研發工作。

報導亦指出，與中芯已有合作關係的比利時微電子科技研發中心（IMEC），也可能將0.13微米技術轉移給中芯，而有助於中芯未來克服低介電（Low-K）技術相關難題。

但中芯國際技術發展部門副總裁Simon Yang表示，中芯將不會急於轉換至低介電技術，而發展90奈米技術是中芯2003年較重要的研發工作。

除中芯積極向高階製程技術發展外，包括日本Trecenti Technologies、南韓東部電子、馬來西亞的1st Silicon、Silterra，以及以色列的Tower Semiconductor等世界其他晶圓代工業者也同樣積極。