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imec發佈一款微型光機系統技術 (MOMS) 的壓力感測器
 

【CTIMES/SmartAuto 報導】   2017年10月04日 星期三

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奈米和數位技術研究與創新中心 imec 在 imec 科技論壇 (ITF) 醫療大會上,發佈了一款基於微型光機系統技術 (MOMS) 的壓力感測器。該款感測器能在大壓力範圍下展現出色的測量精度,且具有體積緊湊、抗電磁干擾 (EMI) 等特性及多工功能,可用於需要高品質感測的應用場合,特別是醫療和生命科學領域。

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壓力感測器用於測量如高度和深度等參數, 或用於目前基於MEMS或光纖技術的流量感測,這些技術各有利有弊。MEMS的壓力感測器因為良好的性能和小尺寸而非常受歡迎。光纖傳感器適用於惡劣環境,可以透過EMI或高溫來表徵,但是它們整合度更低,複雜性更高且價格昂貴。

Imec新型的MOMS的壓力感測器結合了兩者的優勢,並具有高精度。 此外,它顯示出高抗EMI干擾能力並支持多路復用。imec研究人員已經證明在大範圍內的均方根(rms)精度低於1Pa,可以容易地達到100kP。

關鍵字: sensor  imec 
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