客製化晶圓、光罩、玻璃傳載及儲存設備供應商中勤實業，在今年的SEMICON Taiwan展出一系列針對智慧製造、先進製程與綠色製造應用的解決方案。其中一款智能棧板物流箱為今年首度展出，並已獲得台積電採用。

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中勤表示，智能棧板物流箱內建RFID的功能，可以達成自動化出貨追蹤，且整體設計支援大型機械手臂的取放，且能配合無人車AGV進行搬運，目前該方案已經獲得台積電採用。

長期以來，中勤就持續發展綠色廠房應用的各式方式，並與科技大廠合作開發全廠自動化智能各類型載具。其方案皆採高強度材質，抗震耐磨耗，援全自動搬運軌道系統AMHS，以及無人車AGV搬運，產品包含：晶圓傳送盒FOUP、Frame Cassette、Magazine Cassette及Jedec Tray Cassette等智慧承載。

其中，最新開發的CKH300 FOUP，可有效應用於一般及薄化晶圓的承載，滿載13pcs thin wafers，足以應對各式薄化晶圓之變形量及機械手臂的高相容性。

針對目前熱門的5G及AI應用，第三代半導體正快速崛起，氮化鎵將會逐漸成為主流材料。中勤針對第三代半導體推出相應的方案，如氮化奈米氟、CFRP碳纖維複合材料、高潔淨度低吸濕性材料等，依照客戶需求的環境溫度與材料特性提供最佳解決方案。