為加速我國65奈米IC製程的研發時程，並推動下世代半導體產業材料的技術整合，由工研院化工所號召，台積電、日產化學工業株式會社（Nissan Chemical Industries）、長興化工、永光化學、同步輻射中心為創始會員，共同籌組的「65奈米研發聯盟」。

聯盟會員從65奈米製程的研發階段就共同投入開發，可以經由相關技術提前的垂直整合，建立技術與材料的適用性，避免量產時的介面問題，同時經由各自技術的投入，得知整合性技術的最新進展，奠定技術長期領先的基礎。

該聯盟將採循序漸進的方式，短期內先由65製程中黃光製程之材料入手奠基，主要活動將著眼於整理並交流技術與市場資訊，以建立上中下游的互信與共識；中期則以65奈米技術落實為目標，繼續納入65奈米製程中其他的關鍵材料，例如蝕刻氣體、高介電材料、低介電材料、化學機械研磨液等，同時邀集更多半導體材料、設備、IC FAB的廠商與學研界加入，以擴大聯盟的延伸度；長期則希望透過政府大型計畫的支持，進一步將聯盟發展成整合型半導體研發中心，開發下世代奈米晶片所需的材料技術，建立國內技術主導的產業通路，使台灣成為全球IC相關材料與技術生產與創新的重鎮。