全球顯示器生產設備商—Manz亞智科技憑藉創新的研發設計、專業的生產與製程技術，成功獲得中國第一座G6 IGZO廠濕製程設備訂單，第一批設備已於今年2月底交付安裝。隨著首張IGZO顯示器濕製程生產設備訂單的交付與裝機，也象徵著Manz的濕製程設備生產已跨入了新的里程碑，進一步穩固了其在大中華地區顯示器市場的地位，為2017年奠定了一個良好的開始。

配向後Manz G6蝕刻設備之清洗槽設計

在中國政府相關政策的支持下，大陸面板廠的大尺寸面板8.5代線產能超前，中小尺寸高技術含量的LTPS、OLED急起直追，讓台廠及韓國的面板廠倍感壓力。目前市場上的面板技術各有優缺點，而手機、平板電腦等行動裝置要求高解析度、更省電，LTPS與IGZO在解析度及省電效果的表現差異不大，但以量產成本而言，LTPS的投資生產成本遠高於IGZO，且IGZO僅需在現有的a-si產線基礎上增加設備投資即可投產，IGZO技術突破發展瓶頸，投資成本得以下降，產品表現性價比高，目前已成為中尺寸行動裝置的主流趨勢。

以往 IGZO受制於金屬材料的製程研發、專利取得及良率等問題，具備量產能力的面板廠屈指可數。雖然目前IGZO背板佔LCD顯示器比重不高，但其具有大尺寸量產性、高解析度、省電、可與OLED結合、發展自由形狀顯示器、乃至非顯示器類的醫療應用等優勢。隨著此座G6 IGZO廠的投產，將來IGZO在顯示器市場的佔有率也將可望提升。

Manz的濕製程生產解決方案在顯示器產業有著30年以上的長足技術與經驗，包括面板清洗、顯影、黃光蝕刻及剝膜。IGZO面板的電子移動速度快，在生產製程主要是採用high ppi製程，對於玻璃基板表面的潔淨度、精度跟微粒（particle）的要求與一般非晶矽面板(a-si LCD)相比較為嚴苛。一般非晶矽面板對於微粒清洗要求為: 200顆以內，去除率>=95%； Manz的G6 IGZO濕製程設備能有效控制其微粒數量在100顆以內，去除率(remove rate) >=99%，完美達標G6 IGZO面板生產對於濕製程設備的嚴峻要求。

繼2016年成功獲得G8.6大世代面板濕製程訂單及G6 IGZO技術濕製程訂單後，Manz持續不斷在濕製程設備生產上追求技術突破。隨著面板尺寸大型化，使用傳統製程設備技術無法提高良率，無論是LTPS還是IGZO顯示器製程，在Cell段的液晶配向製程已經改為新一代光配向(photo-alignment)來取代現有刷磨式配向(rubbing alignment)。新一代的液晶光配向技術在紫外光照射完液晶後，必須透過濕製程清洗設備來清除固化反應產生的反應副產物，此清洗設備須具備抵抗高揮發、高腐蝕藥液溶劑如O3或IPA的處理能力。目前，Manz已成功研發出新一代光配向技術所需的高階功能性清洗設備並已具有銷售實績，品質深受信賴。預計2017年內，將會陸續於用戶端裝機並投產。

如今，環保節能已成為各國持續發展的共識，也是全球消費者普遍形成的共同價值趨向。近年來，平板電視市場佔有率急速上升，隨之而來的高能耗問題也日益得到各國的關注。Manz的IGZO面板濕製程設備亦具備卓越的低能耗特點，獨特再利用之水迴路設計減少約30%的用水量，充分響應了全球節能減碳的號召。

Manz亞智科技總經理兼顯示器事業部主管林峻生表示：「Manz憑藉創新的研發設計及融合30多年經驗的專業技術，不斷追求技術突破。此次透過第一筆G6 IGZO廠濕製程設備訂單的交付與裝機，意味著Manz在顯示器市場的濕製程設備再次成功邁入新的里程碑。」