半導體業先進製程生產技術導廠商諾發系統公司,13日宣佈台積電(TSMC)以2005年最佳產品獎,認可諾發SABRE NExT銅電化學沉積系統的優異效能。
台積電營運組織副總羅唯仁博士表示:「SABRE NExT的領先技術及其低作業成本與高生產力,是讓我們300mm晶圓產量躍昇的重要關鍵因素之一。我們非常感謝諾發致力與台積電合作,達到技術與生產力的要求。」
位於奧勒崗州Tualatin,諾發電化學沉積產品事業單位資深副總裁Tim Archer表示:「我們很榮幸獲選為台積電2005年最佳產品獎的得主。台積電是領導90奈米以下晶圓製造技術發展的公司之一。我們希望藉由SABRE NExT,繼續提供不斷擴充的選項,讓客戶因應持續發展的市場動力。」
台積電自1998年,即採用諾發的SABRE工具,最初是200mm晶圓的130奈米技術。諾發在全球已安裝200台以上的SABRE系統。