随着半导体产业不断寻求朝20/14奈米制程发展之际，电子验证测试产业-iST宜特科技在材料分析不缺席。iST宜特今(5月12号)宣布除了布建目前业界EDS元素分析能力最强的TEM设备：JEM-2800外，更和成大微奈米中心进行材料分析技术开发合作，同时聘请该中心副研究员、国内顶尖TEM权威－鲍忠兴博士担任顾问，设备与技术能量一次到位。

左图为宜特分析市面上最先进之「22奈米三维晶体管」的高解析TEM影像；右图则为分析「LED磊晶结构」之高解析TEM及EDS影像。

即日起，iST宜特更采全天候三班制24小时运作，全面缩短交期，大跃进产能，展现冲刺材料分析的决心，提供客户最快速且高端材料分析服务。

为了回馈长期以来支持iST宜特的客户，即日起至6月底以前，只要来宜特委案TEM上机观察分析服务，即享半价优惠。

iST宜特观察发现，企业为了打造效能更高、功耗更低、体积更小的半导体组件以满足现今智能产品之需求，各大厂在先进制程开发的脚步越来越快，包括Intel率先进入22奈米制程量产、台积电与三星陆续进入20奈米量产，而联电则从28奈米跳过20，直接研发14奈米制程。

iST宜特材料分析经理 陈声宇博士说明，先进半导体制程的开发是否到位，材料之结构与元素分析能力往往是关键，尤其当制程进入28奈米以下世代，许多传统分析仪器将面临瓶颈，此时可达原子级分辨率的TEM将是分析上的唯一解决案。

除了在半导体产业的应用外，材料分析在LED产业亦扮演重要角色，决定LED发光特性最关键的磊晶制程，就必须高度仰赖TEM来控制制程参数。

陈声宇进一步指出，在TEM各种应用中，近年来又以EDS元素分析需求最为强劲。iST宜特近期导入JEOL最高阶的JEM-2800 TEM设备。同时配置有2颗100平方毫米的超大面积EDS侦测器，讯号接收总面积高达200平方毫米，效能远超过业界先前最高阶机型(其讯号收集面积为120平方毫米)，将会是客户在面临制程问题时的最好帮手。

「目前宜特已陆续完成各产业客户，包括知名晶圆厂与LED磊晶厂的分析试样，突破至14奈米制程，客户对结果相当满意。」陈声宇表示。

宜特科技董事长 余维斌表示，宜特整兵备战，积极拓展材料分析战线，致力追求更先进的制程验证能力，昂首阔步为客户可能有的需求做好准备，成为客户迎向成功的最重要伙伴。