麦瑞半导体（Micrel）于日前宣布，该公司设在加利福尼亚州圣何塞的晶圆代工厂，已开始投产微机电系统（MEMS），并表示已开始为一家MEMS厂商生产，同时也正在为其他几家初创公司开发MEMS生产工艺。

据麦瑞半导体表示，投入了数百万美元资金，新增了3D前端到后端对齐能力并购置了一台先进的DRIE蚀刻机。这套系统可精确蚀刻生产目前最先进的MEMS产品所需的极深沟道Through Silicon Vias（TSV）和极大空腔。

MEMS是利用半导体生产设备生产的用在半导体芯片上的机械部件。MEMS属于高度专业化的专用器件，通常被用于制造安全气囊、车辆控制、心脏起搏器和游戏机中所用的压力传感器、温度传感器、化学传感器、振动传感器、光反射器、光敏开关和加速传感器。这项技术还被用于生产喷墨打印头、读写头上的微动器以及用来反射光束的全光开关。

麦瑞半导体进一步说明，晶圆代工部为商用和军用IC设计商以及需要能满足其具体应用和/或技术需求的生产解决方案的所有厂商提供代工服务。麦瑞半导体代工厂提供各种灵活的晶圆制造和加工资源，可以满足少量生产或批量生产的各种特殊需求。代工厂已经获得ISO14001:1996国际环境管理体系标准认证。环境管理体系标准认证旨在保证合规性，通过减少废物和循环利用降低对环境的影响。