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【CTIMES/SmartAuto 編輯部报导】   2015年05月06日 星期三

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是德科技(Keysight)日前发表WaferPro Express 2015量测软件平台,以协助工程师实现自动化晶圆级组件和电路组件特性分析。 WaferPro Express可在芯片级量测系统(包含仪器和晶圆探测器)中,有效地控制所有组件,以便降低量测配置的复杂性,并提供结合自动量测和数据管理的统一平台。

新软件支持晶圆级组件特性分析,并具备可简化自动晶圆级量测的多项突破性技术。
新软件支持晶圆级组件特性分析,并具备可简化自动晶圆级量测的多项突破性技术。

高容量的晶圆级测试系统已不再是半导体晶圆代工厂的专利。 今天,许多研发团队都需要在各种不同温度下量测大量的数据,以便因应组件建模、流程监控,可靠性和组件特性分析等应用的要求。 而自动化晶圆探测器已成了组件研发量测实验室的标准配备。

WaferPro Express 2015的一项重大突破是,它与Cascade Microtech的Velox 2.0探针台控制软件进行了独家整合。 透过Cascade Microtech与是德科技联合开发的双向通讯链路的WaferSync,WaferPro Express和Velox 2.0可整合在一起。 Cascade Microtech的WaferSync支持完整的晶圆图(wafer map)同步功能,以提供简单,无误差的软件信息交换,包括晶圆对准、位置和晶粒信息。

新的WaferPro Express可连接到Velox 2.0,大幅提升了易用性,让测试工程师能快速设定量测系统。 为了全面提高射频量测效率,WaferPro Express可定期监视射频校验的稳定性,以便尽可能缩短收集不准确数据的时间。

台湾是德科技总经理张志铭表示:「WaferPro Express 2015是我们与Cascade Microtech携手合作的产物,象征着是德科技晶圆级测试解决方案发展的一个重要里程碑。 我们的目标是为客户提供有保障的系统配置、安装和支持。 WaferPro Express是此晶圆级量测解决方案的核心软件,可连接所有系统组件,让客户能够灵活迅速地开始第一次量测。 」

适用于直流/射频量测的典型晶圆级量测解决方案(WMS)配置包含Keysight PNA或PNA-X网络分析仪、整合了Cascade Microtech晶圆探针台的B1500A半导体组件参数分析仪、WinCal XE校验软件,以及用于校验的阻抗标准基板。 WMS配置均经过预先验证和优化,以提供准确且可重复的装置与组件特性分析。 利用新的Keysight Verification Substrate(KVS),工程师可快速验证初始安装完毕的系统。每一套KVS已全面通过晶圆厂评估,并配备标准装置,让工程师能够在完成射频校验后使用G-S-G探棒来进行探量。 WaferPro Express 2015可在初始系统验证过程中量测KVS,然后,藉由比较量测数据和晶圆厂数据,来确认系统是否正常运作。

WaferPro Express 2015其它的新功能包括:支持噪声系数量测,并可汇入使用Keysight IC-CAP建模和量测软件开发的测试程序。 新的噪声系数量测功能进一步完善了该软件现有的增益压缩、双音频交互调变失真,以及和S参数量测。 Keysight PNA-X最新的仪器驱动程序提供前述各项功能。

關鍵字: 量測軟體平台  WaferPro Express  量測系統  量测仪器  晶圆探测器  晶圆代工  Teknoloji  Keysight  安捷伦  半导体制造与测试  測試系統與研發工具 
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