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Advanced Energy推出远端电浆源产品系列 提升清洗系统稳定性
 

【CTIMES/SmartAuto 报导】   2020年12月21日 星期一

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先进电源转换、测量和控制系统解决方案开发商Advanced Energy Industries, Inc.宣布推出一系列全新的MAXstream远端电浆源(RPS)产品,适用於半导体晶片制程的反应室电浆清洗系统。MAXstream系列产品有多个不同型号,作业范围非常宽广,且电源准确度较高,具备优於同级产品的电浆喷射引燃能力,以及更高的稳定性。

Advanced Energy全新的远端电浆源产品系列将技术进一步提升,例如新产品可确保半导体制程设备在多种不同流速的情况下仍能保持作业稳定,而生产力也有进一步的改善
Advanced Energy全新的远端电浆源产品系列将技术进一步提升,例如新产品可确保半导体制程设备在多种不同流速的情况下仍能保持作业稳定,而生产力也有进一步的改善

Advanced Energy半导体产品??总裁暨总经理Peter Gillespie表示:「我们的客户曾向我们表示市场上欠缺一款高效能而又稳定可靠的RPS产品,希??Advanced Energy能够进军这个市场,满足业者的需求。我们顺应时势,实现他们的梦想。这系列全新的MAXstream产品不但为客户的制程设备提供一个极具成本效益而又稳定可靠的RPS解决方案,而且还让Advanced Energy因应市场趋势,加快进军这个近年少有创新技术出现但年销售额约值1.5亿美元的RPS市场。至今为止,这系列产品在市场上很受欢迎,对我们来说这是一个很大的鼓舞。我们在今个月内会继续交货予多个OEM客户,预计会继续取得亮丽的成绩。」

MAXstream远比竞争对手的RPS解决方案优胜,因为这款新产品的双电浆源引燃核心采用完善的设计,确保电浆引燃时保持优於同级竞争产品的稳定性。由於每次分开出击的引燃非常稳定可靠,令整个作业能保持其稳定性,减少坏机情况出现。MAXstream也充分利用Advanced Energy使用多年并证实有效的分离电浆源物料和相关技术,确保可延长制程反应室的寿命周期以及减少由此而产生的微粒。

Advanced Energy的MAXstream RPS产品可以轻易??入现有的RPS系统之中,以确保可与现有系统无缝衔接,方便换代更新。客户只要取出一向表现不太理想RPS,改用MAXstream便可提高制程设备的生产力、效能和稳定性。他们也可获得Advanced Energy提供优於竞争对手的全球服务和支援。Advanced Energy在世界各地设有十多间服务中心,为各地客户提供现场服务和应用技术支援。

MAXstream产品系列共有MAXstream 300、600、800、1000和1200等多个不同型号,每分钟的气体流量分别为3、6、8、10和12公升(liter),让客户可以按照自己的制程,选用一款价格符合预算而又能充分发挥系统效能的型号。MAXstream 300适用於较低流量的制程(用於清洗的气体每分钟流量高达3公升),外型则比高流量的型号更为小巧。

Advanced Energy远端电浆源总经理Shaun Wilson表示:「几??生产每一种半导体晶片所采用的电浆制程都需要清洗反应室。我们今次推出MAXstream系列产品,为客户的制程反应室清洗系统提供一个效能强劲、稳定可靠和具成本效益的解决方案。我们不但降低设备的坏机时间,而且还协助半导体业者满足资料经济圈的市场需求。」

關鍵字: 半导体制程  清洗系统  Advanced Energy 
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