半导体设备及制程技术专业供货商Aviza，近日宣布推出全球第一台12吋晶圆级离子束沉积系统。第一台系统已出货至法国格勒诺伯市的欧洲领先电子学及自旋电子学应用研究中心CEA-LETI-MINATEC。

12吋晶圆级离子束沉积系统

StratIon fxP将用于研发次世代磁控穿隧接合面（MTJ）的装置，以应用在包括磁阻式随机存取内存（MRAM）、硬盘驱动读写头或RF组件。该系统也将用于先进CMOS制程的金属闸极沉积中。除了将该系统出货，CEA-LETI外与Aviza签署了一项三年的联合发展计划，内容包括未来MRAM和自旋电子装置将会用到的MTJ沉积制程研发。