安捷伦科技（Agilent）于日前宣布，推出了集成电路特性描述与分析程序 (IC-CAP) Wafer Professional (WaferPro) 软件。该款新软件为半导体组件的仿真应用，提供一个多组件、多晶圆的自动化直流与射频量测解决方案。

WaferPro可以让用户控制半自动与全自动探针台。因支持最新的切换矩阵和热夹头解决方案，WaferPro可在一个温度范围内自动执行局部和扫描量测。WaferPro直接控制安捷伦4070和4080参数测试系统的能力，可大幅提升量测的速度。

使用WaferPro，每当温度改变就会自动执行晶圆对准，如此可省去工程师监测量测的麻烦。测试计划可以自动在不同的量测站，使用不同的硬件执行，以提高实验室设备的利用率。以复杂结构为基础的WaferPro，也可执行高效率的数据分析与处理，并为之后复杂的仿真作业提供良好的基础。

台湾安捷伦科技电子量测事业群总经理张志铭表示，组件仿真的复杂度不断提高，连带增加了萃取与验证所需的量测。统计仿真对晶圆代工厂来说是一大挑战，但也是负责处理较小晶体管和较复杂应用的设计师必须优先考虑的事。此外，不只是制程开发与制造环境，就连组件仿真实验室也愈来愈常采用安捷伦的参数测试系统。WaferPro是为了解决这些挑战而率先推出的新产品。