美国Advanced Energy公司为高度工程化精密电源转换、测量和控制解决方案供应商利用一种新型转换平台和两种独家专属萤光配方，拓展萤光光纤测温仪（FluorOptic Thermometry；FOT）解决方案中的Luxtron系列产品。LuxtronM-1000转换器（带Rubilux和VioLux萤光配方）可在更大温度范围内实现高精准温度量测，解决先进半导体蚀刻和沉积制程中的一系列难题。

新型Luxtron FluorOptic感测平台（带RubiLux和VioLux萤光配方）可在更大温度范围内实现精准、可重复的测量。(source：Advanced Energy)

Luxtron M-1000配备新型光源和经过改进的低噪音光探测装置，具备双通道能力，低精度误差（+/-0.2。C），稳定性高出0.05。C，并且，具有操作宽范围（-200。C至450。C）。该转换器经过优化，具有两种萤光配方，可适应全系列温度范围。

「对於在创建半导体装置（比如：3D NAND）中使用的先进高纵横比（HAR）蚀刻而言，晶圆温度是其中一项非常重要的工艺叁数，」美国Advanced Energy公司精密传感和控制部门战略行销??总裁Jeff Hebb表示：「为优化HAR蚀刻制程，先进的半导体制造商日益转向更广的操作温度（比如从低温吸盘到加热吸盘）。通过在更大温度范围内实现精准、可重复的量测，M-1000转换器和新型萤光配方能够胜任HAR制程量产所要求的的全系列温度范围量测。」

Advanced Energy的Luxtron FOT感测系统融合萤光涂层光纤探针和高性能转换器，该转换器内建先进光源、光测器专属软体演算法和低噪音放大电路系统。在强电磁领域（包括等离子蚀刻和沉积、MRI系统和变压器）内的各项制程中，由於Luxtron FOT系统所进行的温度量测基於其光纤传感，因此，比传统电子感测器更具备高精度性。