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麥瑞宣佈加州聖約瑟代工廠已擁有MEMS製造能力
 

【CTIMES/SmartAuto 林佳穎報導】   2011年11月03日 星期四

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麥瑞半導體(Micrel)於日前宣佈,該公司設在加利福尼亞州聖約瑟的晶圓代工廠,已開始投產微機電系統(MEMS),並表示已開始為一家MEMS廠商生產,同時也正在為其他幾家初創公司開發MEMS生產工藝。

據麥瑞半導體表示,投入了數百萬美元資金,新增了3D前端到後端對齊能力並購置了一台先進的DRIE蝕刻機。這套系統可精確蝕刻生產目前最先進的MEMS產品所需的極深溝道Through Silicon Vias(TSV)和極大空腔。

MEMS是利用半導體生產設備生產的用在半導體晶片上的機械部件。MEMS屬於高度專業化的專用器件,通常被用於製造安全氣囊、車輛控制、心臟起搏器和遊戲機中所用的壓力感測器、溫度感測器、化學感測器、振動感測器、光反射器、光敏開關和加速感測器。這項技術還被用於生產噴墨打印頭、讀寫頭上的微動器以及用來反射光束的全光開關。

麥瑞半導體進一步說明,晶圓代工部為商用和軍用IC設計商以及需要能滿足其具體應用和/或技術需求的生產解決方案的所有廠商提供代工服務。麥瑞半導體代工廠提供各種靈活的晶圓製造和加工資源,可以滿足少量生產或批量生產的各種特殊需求。代工廠已經獲得ISO14001:1996國際環境管理體系標準認證。環境管理體系標準認證旨在保證合規性,通過減少廢物和迴圈利用降低對環境的影響。

關鍵字: MEMS(微機電麥瑞半導體 
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