美國Advanced Energy公司為高度工程化精密電源轉換、測量和控制解決方案供應商—利用一種新型轉換平台和兩種獨家專屬螢光配方，拓展螢光光纖測溫儀（FluorOptic Thermometry；FOT）解決方案中的Luxtron系列產品。LuxtronM-1000轉換器（帶Rubilux和VioLux螢光配方）可在更大溫度範圍內實現高精準溫度量測，解決先進半導體蝕刻和沉積製程中的一系列難題。

新型Luxtron FluorOptic感測平台（帶RubiLux和VioLux螢光配方）可在更大溫度範圍內實現精準、可重複的測量。(source：Advanced Energy)

Luxtron M-1000配備新型光源和經過改進的低噪音光探測裝置，具備雙通道能力，低精度誤差（+/-0.2°C），穩定性高出0.05°C，並且，具有操作寬範圍（-200°C至450°C）。該轉換器經過優化，具有兩種螢光配方，可適應全系列溫度範圍。

「對於在創建半導體裝置（比如：3D NAND）中使用的先進高縱橫比（HAR）蝕刻而言，晶圓溫度是其中一項非常重要的工藝參數，」美國Advanced Energy公司精密傳感和控制部門戰略行銷副總裁Jeff Hebb表示：「為優化HAR蝕刻製程，先進的半導體製造商日益轉向更廣的操作溫度（比如從低溫吸盤到加熱吸盤）。通過在更大溫度範圍內實現精準、可重複的量測，M-1000轉換器和新型螢光配方能夠勝任HAR製程量產所要求的的全系列溫度範圍量測。」

Advanced Energy的Luxtron FOT感測系統融合螢光塗層光纖探針和高性能轉換器，該轉換器內建先進光源、光測器專屬軟體演算法和低噪音放大電路系統。在強電磁領域（包括等離子蝕刻和沉積、MRI系統和變壓器）內的各項製程中，由於Luxtron FOT系統所進行的溫度量測基於其光纖傳感，因此，比傳統電子感測器更具備高精度性。