先進節點化學機械研磨液優化
作者\Adam Manzonie等
在先進的前段製程中將有不同材料層的組合(如氧化物、氮化物和多晶矽),各材料都需要研磨,各層分別要求不同的研磨率、選擇比和嚴格的製程控制。多樣化需求需要新的研磨液配方。
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