邏輯元件製程技術藍圖概覽(上)
邁向1nm世代的前、中、後段製程技術進展
作者\Zsolt Tokei、Naoto Horiguchi
愛美科CMOS元件技術研究計畫主持人Naoto Horguchi、奈米導線研究計畫主持人Zsolt Tokei彙整各自的領域專長,將於本文一同呈現先進製程技術的發展藍圖。
/art/2020/11/101542311580/p0.jpg