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讨论新闻主题﹕KLA-Tencor 为领先的积体电路技术推出检测与检查系列产品

新闻 提要
今天，在「SEMICON West 国际半导体展」上，KLA-Tencor 公司宣布推出四款新的系统— 2920 系列、Puma 9850、Surfscan SP5 和eDR-7110 — 为16nm 及以下的积体电路装置研发与生产提供更先进的缺陷检测与复查能力。 2920 系列宽频电浆图案化晶圆检测系统、Puma 9850 雷射扫描图案化晶圆缺陷检测系统和Surfscan SP5 无图案晶圆检测系统可提供更高的缺陷灵敏度和显著的产能增益。这些检测仪让晶片制造商能够发现和监控对良率至关重要的缺陷，借此支援晶片制造商在前沿领先设计节点对复杂结构、新型材料和新的制程进行整合。这三款检测仪均可与eDR-7110 电子束复查系统实现无缝连结，该系统利用更先进的自动缺陷分类功能迅速识别捕获的缺陷，为晶片制造厂商纠正措施提供精准资讯

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