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讨论新闻主题﹕Advanced Energy推出远端电浆源产品系列 提升清洗系统稳定性

新闻 提要
先进电源转换、测量和控制系统解决方案开发商Advanced Energy Industries, Inc.宣布推出一系列全新的MAXstream远端电浆源(RPS)产品，适用於半导体晶片制程的反应室电浆清洗系统。MAXstream系列产品有多个不同型号，作业范围非常宽广，且电源准确度较高，具备优於同级产品的电浆喷射引燃能力，以及更高的稳定性。 Advanced Energy半导体产品??总裁暨总经理Peter Gillespie表示：「我们的客户曾向我们表示市场上欠缺一款高效能而又稳定可靠的RPS产品，希??Advanced Energy能够进军这个市场，满足业者的需求。我们顺应时势，实现他们的梦想。这系列全新的MAXstream产品不但为客户的制程设备提供一个极具成本效益而又稳定可靠的RPS解决方案，而且还让Advanced Energy因应市场趋势，加快进军这个近年少有创新技术出现但年销售额约值1.5亿美元的RPS市场

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