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讨论新闻主题﹕Advanced Energy推出全新射频电源供应器 满足新一代蚀刻制程需求

新闻 提要
电源转换、测量和控制系统解决方案开发商Advanced Energy Industries, Inc.宣布推出一款全新的Paramount HP 10013射频(RF)电源供应器。新产品推出之後,该公司旗舰产品Paramount RF电源供应器系列将会有更多型号可供选择。 Advanced Energy的电浆制程设备电源系统,适用於半导体蚀刻、介电质蚀刻、沉积、溅镀、离子植入等半导体和电浆薄膜制程设备,Paramount HP 10013沿用先进的电浆制程电源技术,且再进一步提升效能。 例如:Paramount HP 10013可确保Paramount 13.56MHz平台提供高达10kW的输出功率,这样的好处是,能以较低的平均功率提供高能脉冲,确保脉冲功率的准确性和可重复性

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