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討論新聞主題﹕KLA-Tencor推出全新FlashScanTM產品線

新聞 提要
KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩檢測產品線,自從1978年公司推出第一台檢測系統以來,KLA-Tencor一直是圖案光罩檢測的主要供應商,新的FlashScan產品線宣告公司進入專用空白光罩的檢驗市場。 光罩坯件製造商需要針對空白光罩的檢測系統,用於制程開發和批量生產過程中的缺陷檢測,此外,光罩製造商(“掩模廠”)為了進行光罩原料檢測,設備監控和進程控製也需要購買該檢測系統。 FlashScan系統可以檢查針對光學或極紫外(EUV)微影的空白光罩。 “先進的微影技術從表徵良好的空白光罩開始。”KLA-Tencor的光罩和寬帶等離子晶圓檢測部總經理熊亞霖博士指出,“無缺陷的EUV光罩坯件極難製造,這不僅推高了生產成本,也推延了EUV光刻可能帶給下一代晶片製造的惠益

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