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討論新聞主題﹕KLA 發布全新缺陷檢測與檢視產品組合

新聞 提要
KLA公司今日發布392x和295x光學缺陷檢測系統和eDR7380電子束缺陷檢視系統。這些全新的檢測系統是我們公司的旗艦圖案晶圓平台的拓展，其檢測速度和靈敏度均獲提升，並代表了光學檢測的新水準。全新電子束檢視系統的創新使其自身價值進一步穩固，並成為缺陷和其來源之間的關鍵環節。對於先進的3D NAND、DRAM和邏輯積體電路（IC），該產品組合將在其整個產品週期內縮短其上市的時間。 「為了有利潤地製造下一代記憶體和邏輯晶片，其所需的製程控制是前所未有的，」KLA國際產品部執行副總裁Ahmad Khan說。「元件結構變得更小、更窄、更高、更深，並且形狀更為複雜以及新材料

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