日本東北大學研究院教授小柳光正研發出一項先進的3D IC技術，可輕易將邏輯晶片、記憶體、MEMS及功率IC等不同種類的晶片疊成性能超強的單晶片。小柳是利用在欲堆疊晶片上進行親水處理，並滴上液體。該液體滴到晶片上後，晶片即使錯位也能根據液體的表面張力自動疊合到實施了親水處理的部分。透過該方法將可實現疊合多枚晶片的目標，而該技術已在200mm晶圓上完成了實驗。圖為小柳的3D晶片斷層圖（圖/小柳研究室）